Một trong những cách sử dụng công nghiệp của TMAH là khắc silic[7]. Nó được sử dụng như một dung môi cơ bản trong sự phát triển của quang khắc axit trong quá trình photolithography, và có hiệu quả cao trong việc tẩy quang khắc. TMAH có một số tính chất xúc tác chuyển pha và được sử dụng làm chất hoạt động bề mặt trong quá trình tổng hợp nước từ để ức chế sự kết hợp các hạt nano.

TMAH là chất thử phổ biến nhất hiện nay được sử dụng trong quá trình phân hủy nhiệt, kỹ thuật phân tích liên quan đến cả sự phân huỷ nhiệt và dẫn xuất hóa học của chất phân tích[8].